Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl

EP4365926 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4365926
Aktenzeichen: EP21948431
Anmeldetag: 1. Juli 2021
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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