Bildverzerrungskorrektur bei der Inspektion Geladener Teilchen

EP4367627 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4367627
Aktenzeichen: EP22734500
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06T3/00G06T7/33

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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