Verfahren und System zur Anomaliebasierten Defektinspektion

EP4367632 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4367632
Aktenzeichen: EP22734528
Anmeldetag: 3. Juni 2022
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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