Stromaufwärts-Überwachung eines Verfahrens für Abscheidungs- und Ätzkammern

EP4367713 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: INFICON, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4367713
Aktenzeichen: EP22838364
Anmeldetag: 7. Juli 2022
Veröffentlichung: 15. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/02H01L21/20C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INFICON, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

283 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von