Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters und Verfahren zur Herstellung eines Replikabeugungsgitters

EP4369063 Art A1 15. Mai 2024

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4369063
Aktenzeichen
EP22835555
Anmeldetag
2. Juni 2022
Veröffentlichung
15. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B29D11/00G02B5/18B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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