Verfahren zur Herstellung eines Musters aus Dicht Angeordneten Merkmalen

EP4372787 Art A1 22. Mai 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4372787
Aktenzeichen: EP22207408
Anmeldetag: 15. November 2022
Veröffentlichung: 22. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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