Duschkopftemperaturbasierte Abscheidungszeitkompensation für Dickentrendierung in einem Pecvd-Abscheidungssystem

EP4373992 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4373992
Aktenzeichen: EP22846439
Anmeldetag: 15. Juli 2022
Veröffentlichung: 29. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/52H01J37/32C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von