Datenverarbeitungsvorrichtung und -Verfahren, Beurteilungssystem für Geladene Teilchen und Verfahren

EP4374414 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4374414
Aktenzeichen: EP22751328
Anmeldetag: 13. Juli 2022
Veröffentlichung: 29. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28G06T7/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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