Reaktionskammer und Halbleiterverarbeitungsvorrichtung

EP4375395 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4375395
Aktenzeichen
EP22845135
Anmeldetag
5. Juli 2022
Veröffentlichung
29. Mai 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/32C23C16/44C23C16/46C23C16/455C23C16/54C30B25/08C30B25/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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