Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Beurteilung einer Probe

EP4376048 Art A1 29. Mai 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4376048
Aktenzeichen: EP22209068
Anmeldetag: 23. November 2022
Veröffentlichung: 29. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/18H01J37/04H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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