Abgeschirmte Vorrichtung zur Ionenenergieanalyse von Plasmaprozessen

EP4376050 Art B1 23. Juli 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc., Impedans Ltd 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4376050
Aktenzeichen: EP22209525
Anmeldetag: 25. November 2022
Veröffentlichung: 23. Juli 2025
Erteilung: 23. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J49/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Impedans Ltd
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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