Verfahren zur Herstellung einer Optoelektronischen Vorrichtung mit einem Schritt zur Gleichmässig und Kontinuierlichen Herstellung einer Dünnen Leitenden Schicht durch Gerichtete Abscheidung

EP4377491 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4377491
Aktenzeichen: EP22755218
Anmeldetag: 27. Juli 2022
Veröffentlichung: 5. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/14C23C14/08C23C14/50C23C14/46H01L21/443H01L21/441H10H20/819H10H20/831

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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