Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Optischen Eigenschaften von für Lithographische Masken Verwendeten Abscheidungsmaterialien

EP4377492 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4377492
Aktenzeichen: EP21754956
Anmeldetag: 30. Juli 2021
Veröffentlichung: 5. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54G01B11/06G03F1/24G03F1/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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