Abtastung von Überlagerungsmetrologie unter Verwendung von Überlagerungszielen mit mehreren Raumfrequenzen
EP4377750
Art A1
5. Juni 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4377750
- Aktenzeichen
- EP22917177
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/27G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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