Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit mehreren Spitzen für die Rastersondenmikroskopie

EP4379397 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4379397
Aktenzeichen: EP22210487
Anmeldetag: 30. November 2022
Veröffentlichung: 5. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q70/06B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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