Verfahren zur Herstellung eines Gruppe-Iii-Nitrid-Halbleiters

EP4379775 Art A1 5. Juni 2024

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4379775
Aktenzeichen: EP22849357
Anmeldetag: 21. Juli 2022
Veröffentlichung: 5. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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🇯🇵 National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System

Die National University Corporation Tokai National Higher Education and Research System ist ein japanischer Hochschulverbund mit medizinischem und naturwissenschaftlichem Forschungsschwerpunkt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Pharma-/Biotechnologie und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2019 bis 2025 reichen von Osteogenese-Fördermitteln bis zu Polymer-Elektrolytmembranen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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