Verfahren und Vorrichtung zur Reparatur eines Defekts einer Probe unter Verwendung eines Fokussierten Teilchenstrahls

EP4381347 Art A1 12. Juni 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4381347
Aktenzeichen: EP22782862
Anmeldetag: 8. September 2022
Veröffentlichung: 12. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/74H01J37/304H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von