Waferreinigungsvorrichtung und Wafereinspannvorrichtung dafür und Waferreinigungsverfahren

EP4383322 Art A1 12. Juni 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4383322
Aktenzeichen: EP22852147
Anmeldetag: 2. August 2022
Veröffentlichung: 12. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/68H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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