Hybride Hochleistungs- und Breitbandmodule mit Variabler Impedanz

EP4385058 Art A1 19. Juni 2024

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4385058
Aktenzeichen
EP22856443
Anmeldetag
5. August 2022
Veröffentlichung
19. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H03H7/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Mathys & Squire München, Deutschland

Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.

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