System und Verfahren zum Gewichten von Defekten mit Kolokalisierten Modellierten Fehlern
EP4385063
Art A1
19. Juni 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4385063
- Aktenzeichen
- EP23763823
- Anmeldetag
- 22. Februar 2023
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01R31/317G01R31/3183
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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