Pumpe und Verfahren zur Herstellung einer Versiegelung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4390130

Aktenzeichen

EP22215608

Anmeldetag

21. Dezember 2022

Veröffentlichung

19. März 2025

Erteilung

19. März 2025

Rechtsraum

EP

IPC

F04C18/02F04B1/00F04C25/02F04D19/04

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine pumpaktive Komponente mit einer Beschichtung, wobei die Beschichtung eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Poren aufweisende Oxidschicht sowie eine fluorfreie Polymer-basierte und/oder Sol-Gel-basierte Versiegelung umfasst, und wobei die Poren der Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert und/oder mit der Versiegelung gefüllt sind. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Versiegeln einer porösen Oxidschicht.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete