Detektion von Ereignissen Geladener Teilchen bei Hohen Dosisraten

EP4390462 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4390462
Aktenzeichen: EP23217251
Anmeldetag: 15. Dezember 2023
Veröffentlichung: 26. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01T1/17G01T1/29H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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