Detektor zur Detektion von Strahlung

EP4390464 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4390464
Aktenzeichen: EP22216582
Anmeldetag: 23. Dezember 2022
Veröffentlichung: 26. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01T1/24H01L31/115H01L31/028

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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