Vorrichtung für Geladene Teilchen, Verfahren zur Projektion Geladener Teilchen, Verfahren zur Beurteilung einer Probe

EP4391006 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4391006
Aktenzeichen: EP22215815
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 26. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/12H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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