Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP4391009
Art A1
26. Juni 2024
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4391009
- Aktenzeichen
- EP22215638
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven