Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Vorrichtung mit Geladenen Teilchen

EP4391009 Art A1 26. Juni 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4391009
Aktenzeichen
EP22215638
Anmeldetag
21. Dezember 2022
Veröffentlichung
26. Juni 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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