Objektgreifer, Verfahren zum Halten eines Objekts und Lithographische Vorrichtung

EP4392828 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4392828
Aktenzeichen: EP22754352
Anmeldetag: 19. Juli 2022
Veröffentlichung: 3. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/687B25J15/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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