Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4393607 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4393607
Aktenzeichen
EP22861010
Anmeldetag
14. Juli 2022
Veröffentlichung
3. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B05C9/14H01L21/67B05D1/00B05C5/02B05D1/26B05C5/00B05D3/02B05D3/04B05D3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Wimmer, Hubert Wagner & Geyer München, Deutschland
1.417
Patente gesamt
32
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Wagner & Geyer München, Deutschland

Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.

12.074
Patente gesamt
6
Patentanwälte
1
Standorte

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