Präkursoren zur Kondensation auf einer Probe, und Vorrichtung und Verfahren zum Ausspülen von Verunreinigungen

EP4394080 Art A3 26. Februar 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4394080
Aktenzeichen: EP23219066
Anmeldetag: 21. Dezember 2023
Veröffentlichung: 26. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/48H01J37/317H01J37/26G01N1/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von