Verfahren zur Erzeugung eines Beschleunigungssollwertprofils für ein Bewegliches Objekt, Sollwertgenerator und Lithografische Vorrichtung

EP4394502 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4394502
Aktenzeichen: EP22216697
Anmeldetag: 27. Dezember 2022
Veröffentlichung: 3. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G05B19/416

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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