Pick And Place mit Chipaktuatoren zur Heterogenen Integration

EP4394852 Art A1 3. Juli 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4394852
Aktenzeichen: EP22217348
Anmeldetag: 30. Dezember 2022
Veröffentlichung: 3. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L23/00B25J7/00B25J9/00

Abstract

A method for die placement is provided, comprising obtaining a plurality of target locations for a plurality of donor dies, measuring locations of the plurality of donor dies, the plurality of donor dies supported by a plurality of die actuators, adjusting the locations of the plurality of donors dies to correspond substantially to the plurality of target locations using the plurality of die actuators, and placing the plurality of donor dies on the plurality of target locations

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von