Halbleiterprozesskammer, Halbleiterprozessvorrichtung und Halbleiterprozessverfahren

EP4397783 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4397783
Aktenzeichen: EP22863350
Anmeldetag: 29. August 2022
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/455H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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