Schmierung einer Substratklemme

EP4398034 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4398034
Aktenzeichen: EP23150754
Anmeldetag: 9. Januar 2023
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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