Verfahren zur Herstellung eines Wachstumssubstrats mit Mesas mit Unterschiedlicher Verformbarkeit durch Elektrochemisches Ätzen und Porösmachung

EP4398317 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4398317
Aktenzeichen: EP23218208
Anmeldetag: 19. Dezember 2023
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L33/00H01L33/12H01L33/32H01L21/306H01L27/15H01L21/3063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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