Plasmabeständiges Laminat, Herstellungsverfahren dafür und Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP4398684 Art A1 10. Juli 2024

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4398684
Aktenzeichen: EP22864649
Anmeldetag: 31. August 2022
Veröffentlichung: 10. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/00H01L21/31C23C14/06C23C16/44H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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