Verfahren zur Konvertierung von Metrologiedaten

EP4399573 Art B1 1. Oktober 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4399573
Aktenzeichen: EP22768710
Anmeldetag: 22. August 2022
Veröffentlichung: 1. Oktober 2025
Erteilung: 1. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G01B15/04G06N3/045G06N3/0475G06N3/094H01J37/22// G06N3/088

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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