Halbleiterbauelementherstellungsverfahren, Substratverarbeitungsverfahren, Substratverarbeitungsvorrichtung und Aufzeichnungsmedium
EP4401113
Art A1
17. Juli 2024
Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4401113
- Aktenzeichen
- EP21956749
- Anmeldetag
- 8. September 2021
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/14C23C16/455C23C16/06H01L21/28H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
538 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
513
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte