Temperatursteuerungsverfahren, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, Temperatursteuerungssystem, Substratverarbeitungsvorrichtung und Programm

EP4401117 Art A1 17. Juli 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4401117
Aktenzeichen: EP23220431
Anmeldetag: 28. Dezember 2023
Veröffentlichung: 17. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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