Bühnenvorrichtung, Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und Vakuumvorrichtung
EP4404249
Art A1
24. Juli 2024
Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4404249
- Aktenzeichen
- EP22869736
- Anmeldetag
- 12. August 2022
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01J37/18H01J37/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
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Mewburn Ellis LLP · München