Entfernte Plasmaabscheidung mit Elektrostatischer Klemmung

EP4405516 Art A1 31. Juli 2024

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4405516
Aktenzeichen: EP22873438
Anmeldetag: 15. September 2022
Veröffentlichung: 31. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/509C23C16/458C23C16/455C23C16/44C23C16/46C23C16/52H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von