Messwerkzeug und Verfahren für Lithographische Masken

EP4405753 Art A1 31. Juli 2024

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4405753
Aktenzeichen: EP22873366
Anmeldetag: 29. Juli 2022
Veröffentlichung: 31. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G03F1/44G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTEL Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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