Scrollvakuumpumpe und Ihr Betriebsverfahren

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4407183

Aktenzeichen

EP24179224

Anmeldetag

31. Mai 2024

Veröffentlichung

31. Juli 2024

Rechtsraum

EP

IPC

F04C18/02F04C23/00F04C25/02F04C27/00

Abstract

Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem (11,13), das ein feststehendes Spiralbauteil (11) und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil (13) umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse (15) rotierenden Antriebswelle (17) mit einem Exzenterabschnitt (19) zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils (13), und einem elektrischen Antriebsmotor (21,23) für die Antriebswelle (17), wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen (11,13) ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel (113) vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete