Leistungssteuerungsverfahren und -Vorrichtung für eine Niedrigfunkfrequenzstromquelle und Halbleiterverarbeitungsvorrichtung

EP4407651 Art A1 31. Juli 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4407651
Aktenzeichen: EP22871990
Anmeldetag: 21. September 2022
Veröffentlichung: 31. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J7/24H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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