Halbleiterprozessvorrichtung und Waferträgerstruktur dafür
EP4411796
Art B1
17. Dezember 2025
Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4411796
- Aktenzeichen
- EP22874823
- Anmeldetag
- 26. September 2022
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2025
- Erteilung
- 17. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Beijing NAURA Microelectronics Equipment
Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.
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Cohausz & Florack · Düsseldorf