Arbeitsablauf zum Ausrichten einer Halbleiterprobe Und/oder zum Messen Ihrer Fehlausrichtung in einer Fib-Sem- oder Fib-Him-Vorrichtung

EP4413358 Art B1 10. September 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4413358
Aktenzeichen: EP22800205
Anmeldetag: 5. Oktober 2022
Veröffentlichung: 10. September 2025
Erteilung: 10. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/2251H01J37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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