Elektrode mit Manipulierter Oberfläche für Verbesserte Energieleistung

EP4413639 Art A1 14. August 2024

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4413639
Aktenzeichen: EP22777861
Anmeldetag: 2. September 2022
Veröffentlichung: 14. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/038H01S3/097H01S3/225G03F7/20H01S3/0971H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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