Optisches Element für Geladene Teilchen, Optisches Modul für Geladene Teilchen, Beurteilungsvorrichtung, Chipanordnung, Verfahren zur Herstellung

EP4418302 Art A1 21. August 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4418302
Aktenzeichen: EP23156956
Anmeldetag: 16. Februar 2023
Veröffentlichung: 21. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/04H01J37/24H01J37/244

Abstract

A charged particle-optical element is disclosed. The element is for a charged particle-optical module configured to direct charged particles along at least one beam path towards a sample. In one arrangement, the element comprises a chip comprising an integrated circuit 64 formed in a semiconductor substrate 61. The substrate defines at least one aperture 63 for passage therethrough of the at least one beam path. A size of the substrate exceeds a die-size of a lithographic imaging system used during manufacturing of the integrated circuit.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von