Verfahren zur Herstellung einer Kristallisierten Laminierten Struktur
EP4418831
Art A1
21. August 2024
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4418831
- Aktenzeichen
- EP22880618
- Anmeldetag
- 4. August 2022
- Veröffentlichung
- 21. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H10N70/00H10N70/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
ULVAC, Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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