Vorrichtungen zur Reinigung einer Mehrstations-Halbleiterverarbeitungskammer

EP4420156 Art A1 28. August 2024

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4420156
Aktenzeichen: EP22884629
Anmeldetag: 18. Oktober 2022
Veröffentlichung: 28. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/455H01L21/67H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von