Mems-Vorrichtung, insbesondere Spiegelvorrichtung, mit Verbesserter Erkennung der Verformung einer Verformbaren Struktur und Herstellungsverfahren der Mems-Vorrichtung

EP4421551 Art B1 26. November 2025

Anmelder: STMicroelectronics International N.V. 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4421551
Aktenzeichen
EP24156497
Anmeldetag
8. Februar 2024
Veröffentlichung
26. November 2025
Erteilung
26. November 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
STMicroelectronics International N.V.
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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