Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP4421856 Art A1 28. August 2024

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4421856
Aktenzeichen: EP24158537
Anmeldetag: 20. Februar 2024
Veröffentlichung: 28. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67B05C5/02B05C11/10B05C11/105B08B3/04B05C9/02G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von